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中微公司刻蚀设备获工博会CIIF大奖
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模型综述
2026年10月13日，中微公司（688012）在第26届中国国际工业博览会上亮相国芯展，其自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备斩获2026工博会CIIF大奖，并同时获得2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一。
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最新进展10月13日 11:11
中微公司Primo UD-RIE®刻蚀设备获2026工博会CIIF大奖及国芯展创新成果奖。报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
10月13日
- 标的新闻公告中微公司（688012）亮相2026工博会国芯展，Primo UD-RIE®刻蚀设备斩获CIIF大奖
中微公司（688012）在第26届中国国际工业博览会上凭借自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备斩获2026工博会CIIF大奖，并同时获得2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一。
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