中微公司（688012）亮相2026工博会国芯展，Primo UD-RIE®刻蚀设备斩获CIIF大奖

中微公司（688012）在第26届中国国际工业博览会上凭借自主研发的Primo UD-RIE®电容耦合等离子体刻蚀设备斩获2026工博会CIIF大奖，并同时获得2026“国芯展”创新成果奖，成为本届工博会十大获奖企业之一。