上观：中国极紫外光源样机国产化率达90%，距离量产还需3-5年

第二十六届中国国际工业博览会在国家会展中心（上海）举行，朗道燧岩展出一台极紫外（EUV）光源系统样机，为目前公开展示中进度最靠前的国产EUV光源样机。现场工作人员介绍，该光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，但距离量产还需3-5年。