中微公司上半年营收66.91亿元、净利同比增300%，薄膜设备与CMP平台化提速

中微公司2026年上半年营收66.91亿元，同比增35%，归母净利润28.25亿元，同比大增300%，扣非净利润11.23亿元，同比增长108%，增长主因先进逻辑与存储刻蚀设备交付大幅增加，超高深宽比刻蚀已大规模量产。